平安證券：國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展 薄膜沉積設(shè)備廠商深度受益

智通財(cái)經(jīng)APP獲悉，平安證券發(fā)布研究報(bào)告稱，當(dāng)前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)擴(kuò)張如火如荼，而海外對(duì)華半導(dǎo)體制裁持續(xù)加碼，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商面對(duì)優(yōu)越的市場(chǎng)環(huán)境和政策支持，前景較為樂觀;薄膜沉積設(shè)備作為半導(dǎo)體核心設(shè)備之一，在半導(dǎo)體制造中具有重要作用，在國(guó)產(chǎn)化替代、技術(shù)進(jìn)步以及產(chǎn)業(yè)擴(kuò)張帶來的多重市場(chǎng)需求下，產(chǎn)業(yè)鏈共同發(fā)力，PVD、CVD、ALD等薄膜沉積設(shè)備賽道在未來較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)將持續(xù)火熱，建議積極關(guān)注。

平安證券主要觀點(diǎn)如下：

國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展，為半導(dǎo)體設(shè)備公司提供了廣闊的平臺(tái)市場(chǎng)，薄膜沉積設(shè)備廠商深度受益。

美國(guó)對(duì)華半導(dǎo)體制裁持續(xù)，先進(jìn)制程受阻，中短期內(nèi)，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鎖定成熟制程快速拓展，形成存量國(guó)產(chǎn)替代和產(chǎn)業(yè)增量拓展的雙重推手，外部市場(chǎng)環(huán)境優(yōu)越，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商迎來前所未有的機(jī)遇;遠(yuǎn)期看，先進(jìn)制程快速發(fā)展，半導(dǎo)體工藝復(fù)雜度大幅提高，對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng)需求也隨之攀升，待國(guó)內(nèi)先進(jìn)制程取得突破后，對(duì)設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈將起到巨大的帶動(dòng)作用。薄膜沉積設(shè)備作為半導(dǎo)體制造三大核心設(shè)備之一，是后續(xù)幾乎所有工藝的基礎(chǔ)，重要性不言而喻，在目前優(yōu)越的市場(chǎng)環(huán)境及政策支持下，產(chǎn)業(yè)鏈共同發(fā)力，需求端火熱，供給端也在努力追趕、加速放量，疊加目前仍然較低的國(guó)產(chǎn)化水平，產(chǎn)業(yè)前景長(zhǎng)期向好的趨勢(shì)較為明確。

PVD、CVD是薄膜沉積主流，ALD作為沉積設(shè)備新寵，在先進(jìn)制程中的應(yīng)用越發(fā)凸顯。

PVD、CVD占據(jù)薄膜沉積賽道的半壁江山，半導(dǎo)體制造中絕大多數(shù)金屬層、介質(zhì)層及半導(dǎo)體層均為PVD、CVD設(shè)備制造;隨著先進(jìn)制程的不斷發(fā)展，對(duì)膜厚精度、薄膜質(zhì)量、臺(tái)階覆蓋率等提出了更高的要求，HDPCVD、SACVD等技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生，且ALD由于具備原子層級(jí)的膜厚控制能力，在先進(jìn)制程的核心工藝(如SADP、HKMG等)中發(fā)揮關(guān)鍵作用，逐漸成為先進(jìn)制程工藝平臺(tái)的“新寵”。

國(guó)內(nèi)多家廠商在薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域均有涉獵，側(cè)重點(diǎn)有所差異，競(jìng)爭(zhēng)格局較為良性。

北方華創(chuàng)(002371.SZ)是國(guó)內(nèi)PVD龍頭，稀缺性較強(qiáng)，且在LPCVD、APCVD、ALD領(lǐng)域也有所布局，產(chǎn)品已經(jīng)批量應(yīng)用到半導(dǎo)體產(chǎn)線中;拓荊科技(688072.SH)專注薄膜沉積設(shè)備，擁有PECVD、SACVD、ALD三大產(chǎn)品系列，公司處于快速上升階段;微導(dǎo)納米(688147.SH)依靠ALD設(shè)備起家，在光伏、半導(dǎo)體中均有應(yīng)用，且公司是國(guó)內(nèi)首家成功將量產(chǎn)型High-kALD應(yīng)用于28nm節(jié)點(diǎn)集成電路制造前道生產(chǎn)線的國(guó)產(chǎn)設(shè)備公司，在ALD領(lǐng)域頗具競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。上述半導(dǎo)體設(shè)備廠商的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)有所不同，側(cè)重點(diǎn)分化明顯，形成了較為良性的差異化競(jìng)爭(zhēng)格局。

風(fēng)險(xiǎn)提示：(1)美國(guó)對(duì)華半導(dǎo)體制裁的風(fēng)險(xiǎn)。(2)國(guó)產(chǎn)化替代市場(chǎng)需求不及預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)。(3)國(guó)內(nèi)公司技術(shù)突破不及預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)。