鼎龍股份(300054.SZ)子公司3款拋光液產(chǎn)品獲國(guó)內(nèi)主流晶圓廠客戶(hù)訂單

智通財(cái)經(jīng)APP訊，鼎龍股份(300054.SZ)公告，公司控股子公司武漢鼎澤新材料技術(shù)有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)“鼎澤新材料”)的多晶硅制程、氮化硅制程共3款拋光液產(chǎn)品于近期首次收到某國(guó)內(nèi)主流晶圓廠商的采購(gòu)訂單。

公告顯示，多晶硅(Poly-Si)與氮化硅(SiN)復(fù)合結(jié)構(gòu)整合工藝是芯片器件制造流程中的關(guān)鍵，而平坦化制程更是重中之重，所使用的多晶硅拋光液(Polyslurry)技術(shù)難度相當(dāng)高。截至目前，公司是某主流芯片制造大廠多晶硅制程拋光液產(chǎn)品通過(guò)驗(yàn)證的唯一國(guó)內(nèi)供應(yīng)商。