智通財(cái)經(jīng)APP訊,晶瑞股份(300655.SZ)公告稱,經(jīng)公司多方協(xié)商、積極運(yùn)作,順利購(gòu)得ASML XT 1900 Gi 型光刻機(jī)一臺(tái)。該設(shè)備于2021年1月19日運(yùn)抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實(shí)驗(yàn)室。下一步,公司將積極組織相關(guān)資源,盡快完成設(shè)備的安裝調(diào)試工作。
公告顯示,公司采購(gòu)的光刻機(jī)設(shè)備為ASML XT 1900 Gi 型ArF浸入式光刻機(jī),可用于研發(fā)最高分辨率達(dá)28nm的高端光刻膠。
本次公司采購(gòu)的ASML光刻機(jī)設(shè)備的順利交付,可以保障公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)先進(jìn)性,對(duì)加快產(chǎn)品研發(fā)項(xiàng)目進(jìn)度有積極影響,有利于進(jìn)一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競(jìng)爭(zhēng)力,有助于落實(shí)公司發(fā)展戰(zhàn)略,提高公司抗風(fēng)險(xiǎn)能力和可持續(xù)發(fā)展能力。